18A läuft – jetzt zählt die Mathematik

Intels Fab 52 geht in Serie und liefert 18A für Panther Lake und Clearwater Forest. Gute Nachricht, sauberes Signal. Eine Werksführung ersetzt aber keine Yield-Kurven: „Volume“ heißt erst mal, dass die Scanner laufen, nicht dass die Margen stimmen.

Technisch ist 18A spannend, weil zwei Hebel gleichzeitig greifen: RibbonFET bringt die Elektrostatik dorthin, wo FinFET nicht mehr elegant skaliert, und PowerVia verlegt die Stromversorgung auf die Rückseite – sinngemäß die Kabel hinter die Wand, damit die Vorderseite fürs Signalrouting frei bleibt. Vorteile: geringere IR-Drops, mehr Routing-Spielraum, potenziell weniger Masken/Layer-Komplexität. Preiszettel: aufwendiges Backside-Processing, Wafer-Flip, Alignment und neue Zuverlässigkeitsrisiken (EM, TSV-ähnliche Stresspunkte). Entscheidend werden Vmin und SRAM-Bitzellen sein; wenn die sauber fallen, trägt der Rest.

Zur Kapazität: Ein moderner EUV-Scanner schafft grob 200–220 Wafer pro Stunde, aber Mehrfach-Belichtungen, Re-Work, Pellicles, Stochastik und Queueing machen jede Kopfstandrechnung nutzlos. Der Overhead-Transport über verbundene Fabs ist sinnvoll – die teuren Schritte werden dort gefahren, wo die besten Tools stehen. „Ein paar Tausend Wafer/Monat“ klingt zu niedrig, aber die Engpassgröße bleibt: Anzahl Scanner × nutzbare Stunden × stabile Prozessfenster. High-NA ist hier noch nicht im Spiel; das wird relevant erst bei 14A.

Die Foundry-Frage: 18A ist primär ein Intel-Prozess. Ohne reife PDKs, Standardzellen, SRAM-Compiler, IO/PHY-IP und verifizierte EDA-Flows baut kein Externer darauf ein Produkt. Das „universelle“ 14A mit Kunden-Co-Optimierung ist der richtige Ansatz – aber ohne Ankerkunden bleibt Ohio ein Rohbau mit Stromanschluss. Die Beweislast liegt bei Design-Enablement, nicht nur bei Toolinstallationen.

Energie und Wasser: 100 MW für Litho sind kein Marketing-Superlativ, das ist die Betriebskostenzeile. „Water positive“ klingt gut; in der Wüste zählt am Ende der Nettofluss und die Resilienz bei Dürre, nicht das Label.

Unterm Strich: 18A in Serie ist ein echter Schritt nach vorn. Wenn Panther Lake und Clearwater Forest mit Performance/Watt und Stückzahlen im Markt ankommen, ist die Prozess-Flaute der letzten Dekade abgehakt. Die finale Scorecard: reale Benchmarks, Liefermengen und ob 14A externe Designs überzeugt. Bis dahin gilt: EUV frisst Megawatt, spuckt Nanometer – und die Rendite entscheidet, ob das Menü auf der Karte bleibt.

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